水是工業(yè)的“血液”,在制造、加工、凈化、洗滌等方面發(fā)揮著重要的作用。因此,水的質(zhì)量對(duì)工業(yè)來(lái)說(shuō)尤為重要。隨著工業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展,工業(yè)生產(chǎn)用水對(duì)水質(zhì)要求越來(lái)越嚴(yán)苛。許多行業(yè)離不開(kāi)超純水。 例如,制藥行業(yè)用超純水消毒清洗、制劑洗瓶、配料,電力行業(yè)用超純水制備精細(xì)處理設(shè)備,半導(dǎo)體行業(yè)用超純水給芯片“洗澡”清潔,從而確保芯片質(zhì)量達(dá)標(biāo)。

處于整個(gè)電子信息產(chǎn)業(yè)鏈頂端的半導(dǎo)體,對(duì)超純水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC、DO等要求越來(lái)越嚴(yán)。嚴(yán)苛的要求,復(fù)雜的制備工藝,給半導(dǎo)體超純水制備行業(yè)帶來(lái)頗高的準(zhǔn)入門(mén)檻,也給一些擁有核心自研優(yōu)勢(shì)的企業(yè)創(chuàng)造出發(fā)展機(jī)遇。

各行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)不同,半導(dǎo)體位列“最高檔”

用超純水設(shè)備制取處理的純水可應(yīng)用于電子半導(dǎo)體行業(yè)、電池電鍍、食品工業(yè)、玻璃用水、醫(yī)療行業(yè)、飲料用水、釀酒工業(yè)、超純材料和超純?cè)噭┑纳a(chǎn)等領(lǐng)域。不同行業(yè)為超純水設(shè)置了不同“準(zhǔn)入券”。

目前,我國(guó)電子工業(yè)部把工業(yè)超純水水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為 18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。一些行業(yè)不僅對(duì)電阻率有要求,還對(duì)金屬離子,細(xì)菌含量,甚至是溶解氧含量都有嚴(yán)格要求。

其中,電力行業(yè)鍋爐用水的特殊要求是>5MΩ·CM的超純水,水不純會(huì)造成鍋爐結(jié)垢,消耗了熱能,鍋爐底部受熱不均,還會(huì)引起爆炸。醫(yī)藥行業(yè)對(duì)超純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)是:電阻率:≥15MΩ·CM,電導(dǎo)率:≤0.5μS,氨≤0.3μg/ml,硝酸鹽≤0.06μg/ml,重金屬≤0.5μg/ml。鍍膜玻璃沖洗用超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)是:鍍膜前要用>17MΩ·CM的超純水清洗。水質(zhì)不達(dá)標(biāo),會(huì)導(dǎo)致鍍膜效果差,膜層就容易脫落。

半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水的指標(biāo)要求比其他行業(yè)都高 。根據(jù)半導(dǎo)體芯片的大小和線徑的不同,水質(zhì)要求也不一樣。其超純水的水質(zhì)指標(biāo)如下:電阻率大于18.2兆歐(25攝氏度);TOC(總有機(jī)碳)小于1至10 ppb,DO(溶解氧)小于1至10 ppb;0.05微米顆粒(微粒)小于200個(gè)/升;離子含量大多小于20至50 PPT沒(méi)有檢測(cè)到細(xì)菌。

在超純水生產(chǎn)過(guò)程中,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標(biāo)稍有差異,就會(huì)使半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。比如在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,硼是P型雜質(zhì),過(guò)量會(huì)使n型硅反型,對(duì)電子、空穴濃度有影響。因此在超純水行業(yè)中,要充分考慮硼的脫除。

半導(dǎo)體超純水高標(biāo)準(zhǔn)促進(jìn)超純水制備技術(shù)持續(xù)提升

超純水的指標(biāo)要求越高,背后的制備工藝也愈加繁復(fù),對(duì)超純水系統(tǒng)的要求也更為嚴(yán)苛。

因此,超純水的制備技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展中是非常重要的一環(huán)。近年半導(dǎo)體器件變得越來(lái)越小,隨著半導(dǎo)體工藝從28nm走向7nm、5nm及更先進(jìn)等級(jí)后,先進(jìn)制程對(duì)雜質(zhì)的敏感度更高,小尺寸污染物的高效清洗將更困難。這意味著超純水的制備工藝將更重要、更富挑戰(zhàn)性。與此同時(shí),更要求企業(yè)具備持續(xù)創(chuàng)新能力,不斷精進(jìn)超純水制備技術(shù)和工藝。

一般超純水系統(tǒng)要經(jīng)由多重過(guò)濾、離子交換、除氣、逆滲透、紫外線、超濾、納米濾、離子吸附過(guò)濾等多個(gè)環(huán)節(jié)才能產(chǎn)生超純水,整個(gè)制造過(guò)程中采用的工藝技術(shù)復(fù)雜而精細(xì),不容偏差。 半導(dǎo)體行業(yè)超純水對(duì)于電阻率的要求非常嚴(yán)格,電阻率大于18.2MΩ?厘米,理論上幾乎不含離子,常規(guī)的單一工藝很難達(dá)到這一要求。多采用幾種工藝聯(lián)合使用,如樹(shù)脂+RO+EDI等,各地自來(lái)水的離子含量也各有差別,需根據(jù)不同的情況調(diào)整工藝組合情況,對(duì)顆粒進(jìn)行去除后再進(jìn)行脫鹽工藝。

脫氣工藝方面,近些年半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于溶解氧(DO)的要求需小于1ppb,所以去除水中的溶解氧是技術(shù)難點(diǎn)。在去除的同時(shí),還要保證隔絕空氣,對(duì)于容器和管道的氣密性要求非常嚴(yán)格。 通常需要通過(guò)多級(jí)高性能脫氣膜聯(lián)合運(yùn)行,才能達(dá)到半導(dǎo)體工業(yè)超純水深度脫氣需求。

半導(dǎo)體所用超純水生產(chǎn)技術(shù)難度高,具有較高的技術(shù)門(mén)檻和原材料壁壘,部分不可或缺的關(guān)鍵材料或產(chǎn)品不得不依靠進(jìn)口。不過(guò)近年來(lái)我國(guó)超純水制備工藝有了長(zhǎng)足進(jìn)步,技術(shù)壁壘漸獲突破, 這將進(jìn)一步助推我國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域的健康持續(xù)發(fā)展。

掌握核心超純水工藝,高頻科技帶來(lái)“芯”突破

受到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展影響,我國(guó)超純水市場(chǎng)需求持續(xù)攀升,市場(chǎng)發(fā)展空間巨大。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展,國(guó)內(nèi)已有部分企業(yè)實(shí)現(xiàn)設(shè)備或核心材料的生產(chǎn),逐漸實(shí)現(xiàn)超純水國(guó)產(chǎn)化,超純水生產(chǎn)制備技術(shù)和工藝日益成熟 。

高頻科技在超純水領(lǐng)域潛心深耕二十余年,以創(chuàng)新研發(fā)為引導(dǎo),不斷探索超純水的絕對(duì)純度。從多介質(zhì)過(guò)濾、活性炭吸附、離子交換、反滲透膜、紫外線殺菌、紫外線TOC去除,再到電滲析、超濾、鈉濾、真空脫氣塔、膜脫氣等,涵蓋不止于18項(xiàng)專(zhuān)業(yè)處理工藝環(huán)節(jié),不斷提升超純水系統(tǒng)的應(yīng)用效率。并在反滲透、離子交換、膜脫氣、紫外線殺菌和TOC降解等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)產(chǎn)品材料中,也有著行業(yè)性的應(yīng)用創(chuàng)新成果。產(chǎn)水水質(zhì)接近絕對(duì)純度,電導(dǎo)率無(wú)限接近18.24MΩ?厘米的理論極限值,其純度可達(dá)99.9999999999%,不斷滿足半導(dǎo)體行業(yè)日趨提升的用水需求,并以此塑造了強(qiáng)大的行業(yè)技術(shù)壁壘,在國(guó)內(nèi)超純工藝領(lǐng)域中厚積薄發(fā)。

除了了解工藝,懂得如何生產(chǎn)滿足工藝指標(biāo)要求的超純水外,保持系統(tǒng)的穩(wěn)定同樣對(duì)于芯片制造至關(guān)重要,這不僅與終端材料和規(guī)格的選擇、系統(tǒng)管路設(shè)計(jì)的優(yōu)化相關(guān),同時(shí)與超純水裝置的控制系統(tǒng)有關(guān),以上方面高頻科技都有一定優(yōu)勢(shì)。

高頻科技作為行業(yè)領(lǐng)先的本土超純工藝技術(shù)企業(yè),從超純水工藝的把握,到生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)的質(zhì)量控制,都達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。在超純水材料研發(fā)與生產(chǎn)這一上游領(lǐng)域,高頻科技的研發(fā)前景也值得期待。

近年來(lái),憑借巨大的市場(chǎng)需求、穩(wěn)定的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)及有利的產(chǎn)業(yè)政策環(huán)境等優(yōu)勢(shì)條件,中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)步入了新一輪加速發(fā)展的階段,近年來(lái)年均復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)12%,市場(chǎng)規(guī)模突破萬(wàn)億。半導(dǎo)體行業(yè)的快步發(fā)展,也驅(qū)動(dòng)著超純水行業(yè)的不斷革新。而高頻科技等企業(yè)通過(guò)自主創(chuàng)新取得的超純水技術(shù)和工藝進(jìn)步,也為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)突破升級(jí)帶去新賦能。